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株式会社東精エンジニアリング > EDGE-加工製品 > 専用測定機
専用測定機
接触式 ウェーハ厚さ測定機 WT-425
ウェーハ製造工程、各種プロセスキャリア測定のベストセラー
シリーズから新タイプ登場です。
高精度
接触式なので材質を選びません。
繰返し精度抜群0.2 µm（2 σ 20℃ ±1℃）
ウェーハに傷をつけません
測定ポイント変更時はウェーハを浮かせて移動可能で、薄いウェーハも楽々移動
反り、うねりのあるウェーハ測定可能
化合物半導体、酸化物の工程管理に最適
（SiC、GaN、LT、Sapphire、貼り合わせウェーハなど）
データ管理
統計処理、保存測定データをUSBメモリに出力
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