専用測定機

接触式 ウェーハ厚さ測定機 WT-425
ウェーハ製造工程、各種プロセスキャリア測定のベストセラー
シリーズから新タイプ登場です。
高精度
接触式なので材質を選びません。
繰返し精度抜群0.2 µm(2 σ 20℃ ±1℃)
ウェーハに傷をつけません
測定ポイント変更時はウェーハを浮かせて移動可能で、薄いウェーハも楽々移動
反り、うねりのあるウェーハ測定可能
化合物半導体、酸化物の工程管理に最適
(SiC、GaN、LT、Sapphire、貼り合わせウェーハなど)
データ管理
統計処理、保存測定データをUSBメモリに出力
