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サファイアウェーハの面取り加工

サファイアウェーハの面取り加工

対応サイズ:2 inch~8 inch OF/ノッチ 対応

サファイアは機械的、熱的特性、化学的安定性、光透過性に優れており、青色・白色LEDを製造するための基盤、偏光子保持基板として多く使用されます。

サファイア基板は非常に硬く、難加工素材になりますが、弊社面取り機の特徴である、高精度/高剛性研削機構で研削することでスムーズな研削面に仕上げることが可能です。

サファイアの高品質加工事例

ノッチ深さ・角度・丸み(R)を測定し、自動補正で簡単に
安定した形状精度を得ることができます。

Notch面取加工例 測定画面
LDG加工
LDG加工

ノッチ画像

エッジ形状

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