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LT,LN 化合物ウェーハ面取り加工

LT,LN 化合物面取り加工

対応サイズ:
2 inch~6 inch OF/IF 対応
6 inch~8 inch ノッチ
(仮OF~ノッチ加工することも可能)

LiTaO3(タンタル酸リチウム)/LiNbO3(ニオブ酸リチウム)はSAWフィルターなどに利用される素材です。通信端末に搭載されるSAWデバイス用途に使用されており、1つのスマートフォンで複数の周波数帯に対応するマルチバンド化も進んでいることから、LT/LN素材への注目はさらに高まっています。

LT/LNウェーハは劈開性が高く、研削加工が非常に難しい素材です。

弊社面取り機では、高精度/高剛性研削機構で研削することで低チッピングに加工することが可能です。

他化合物の加工も対応しております。
一部対応できない材料もございますのでご相談下さい。

化合物ウェーハの高品質加工

ノッチ部加工事例

ノッチ形状

ノッチ形状

エッジ形状

エッジ形状

ノッチ深さ・角度・丸み(R)を測定し、自動補正で簡単に
安定した形状精度を得ることができます。

Notch面取加工例 測定画面

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