評価

表面粗さ・輪郭形状測定機 / SURFCOM (ACCRETECH)

研削したワークの輪郭形状の測定や粗さ測定を行います。

真円度・円筒形状測定機 / RONDCOM (ACCRETECH)

ウエーハの真円度を測定します。

非接触粗さ測定機

ガラス、サファイア研削面の粗さ測定には、非接触粗さ測定機を使用しています。接触式では検出出来ない、細かな凹凸も測定することが可能です。

外周、ノッチ面幅、ノッチ形状測定

研削面粗さ測定