Si ウェーハの面取り加工

2インチから18インチまでのウェーハの面取り加工・サイズダウン等。ご要望やレシピに合わせた加工を提供。

SiC ウェーハの面取り加工
（ノッチ加工 ・ベベル研削）

高精度、低ダメージな外周加工を始め、
ノッチ加工を受託。

テラス形状、トリミング加工

貼り合わせウェーハのエッジ処理、ダメージ除去、ナイフエッジ対策等にも対応。

サファイアウェーハの面取り加工

脆性材料に特化した加工。

LT,LN　化合物ウェーハ面取り加工

劈開性が高い等、各種化合物に適した高品質加工。

四角（不定形）ウェーハ面取り加工

円形と同等レベルで鏡面仕上げが可能。

インゴットの芯取り
小径ウェーハの面取り加工

輪郭形状 粗さ OF真直度 真円度 測定

ワークの特性に最適な非接触式または接触式による測定。