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受託加工
数枚のサンプル製作からロット単位の生産まで、
枚数に関わらずご相談に応じます。自社開発の高精度エッジ面取り装置を使用した加工サービスを行っております。弊社面取り機は、
Si、サファイア、化合物、ガラス等、様々な素材、用途でご使用していただいており、
これまで蓄積してきた高い加工技術をご提供いたします。
加工実績
Si ウェーハの面取り加工
2インチから18インチまでのウェーハの面取り加工・サイズダウン等。ご要望やレシピに合わせた加工を提供。
SiC ウェーハの面取り加工
(ノッチ加工 ・ベベル研削)高精度、低ダメージな外周加工を始め、
ノッチ加工を受託。テラス形状、トリミング加工
貼り合わせウェーハのエッジ処理、ダメージ除去、ナイフエッジ対策等にも対応。
サファイアウェーハの面取り加工
脆性材料に特化した加工。
LT,LN 化合物ウェーハ面取り加工
劈開性が高い等、各種化合物に適した高品質加工。
四角(不定形)ウェーハ面取り加工
円形と同等レベルで鏡面仕上げが可能。
評価
輪郭形状 粗さ OF真直度 真円度 測定
ワークの特性に最適な非接触式または接触式による測定。
サポート
受託加工の流れ