インプロセス・ポストプロセス両用指示アンプ PULCOM V10A / V10S 用語集

温度補正

ワークとマスタの材質が同じで、マスタセット時のマスタ温度と加工／測定時のワーク温度が同じならば、熱膨張による寸法差の補正（温度補正）は不要です。材質が同じでもマスタ温度とワーク温度が違うと温度補正が必要です。またワークとマスタの材質が異なる時は、それぞれの温度が同じでも温度補正が必要となります。

温度補正量THMは、ワークの温度＝TEMP2（又は冷却液の温度）と室温＝TEMP1（マスタの温度とみなす）を測定し、下記の式により求めます。

TWC = （ワーク径） x （10℃当たりのワーク材質の膨張係数）
TMC = （マスタ径） x （10℃当たりのマスタ材質の膨張係数）
TM2 = （ワーク温度） – 20℃
TM1 = （マスタ温度） – 20℃

TWCとTMCは各測定項目毎にタッチパネルから入力します。通常マスタ温度用には、室温センサを使います。ワーク温度センサの設置条件などによって、理論上の膨張係数が不適切な場合には、テスト結果によって修正したTWC、又はTMCを入力し直して下さい。
TMC・TWC設定値は0～99.9µm / 10℃です。