専用測定機

ウェーハ厚さ測定機

接触式 ウェーハ厚さ測定機 WT-425

ウェーハ製造工程、各種プロセスキャリア測定のベストセラー
シリーズから新タイプ登場です。


高精度

接触式なので材質を選びません。
繰返し精度抜群0.2 µm(2 σ 20℃ ±1℃)

ウェーハに傷をつけません

測定ポイント変更時はウェーハを浮かせて移動可能で、薄いウェーハも楽々移動

反り、うねりのあるウェーハ測定可能

化合物半導体、酸化物の工程管理に最適
(SiC、GaN、LT、Sapphire、貼り合わせウェーハなど)

データ管理

統計処理、保存測定データをUSBメモリに出力

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