加工実績

Siウエーハの面取り加工
Siウエーハの面取り加工
独自技術であるヘリカル研削を行うことで研削面をRa = 20 µmの鏡面に仕上げます。 
アズカットやラップ、エッチング後のウエーハに対応可能です。

2 inch ~ 18 inch対応
また12 inch → 8 inch、4 inch → 3 inchなど、サイズダウンすることも可能です。

サファイアウエーハの面取り加工
  • mb2
  • サファイアウエーハの面取り加工
OF、ノッチウエーハの面取り加工を行います。
外周部を鏡面に仕上げることも可能です。Ra = 20 µm
特殊形状ウエーハの加工
  • トリミング加工
  • 張り合わせウエーハ面取り
  • 非対称ウエーハ面取り
  • トリミング加工
  • 張り合わせウエーハ面取り
  • 非対称ウエーハ面取り
研削砥石の選定、制御プログラムの変更をすることで、様々な加工に対応可能です。
ご相談承ります。

受託加工専用
029-830-2155(内線 3186)
お問い合わせはこちら

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化合物、ガラスウエーハの面取り
  • Sic
  • Glass
  • Sic
  • Glass
SiC, GaN, LiTa, ガラスなど化合物の加工も行います。
独自技術のヘリカル研削を行うことで、研削面を鏡面に仕上げます。
Ra = 20 µm

* ヒ素化合物等、一部お取扱いができない場合がございますので、お問い合わせください。

インゴットの芯取り
インゴットの芯取り
厚さ30 ㎜程度の化合物やガラスのインゴットの芯取りを行います。
小径 ウエーハの面取り
小径 ウエーハの面取り
Φ 50 ㎜以下の小径ワーク(レンズカバーなど)の加工を行います。
Si、ガラス、サファイアなど様々な素材に対応可能です。
四角(不定形)ウェーハ面取り加工
  • Sapphire Cover
  • Zirconia Parts
  • 超音波加工<穴、トリミング>
  • EDGEの超仕上げ加工
  • 芯取り、面取り加工

CFRP(炭素繊維強化プラスチック)、サファイア、SiC(炭化ケイ素)、ジルコニア、
タンタル酸リチウム。どんな難削材も、専用ツールと加工方法を提案します。

▼ 加工ビデオはこちら ▼

受託加工専用
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難削材加工システムによる加工例
穴あけ加工および従来加工との比較

セラミック(ジルコニア)

難削材加工システム
難削材加工システム
電着砥石
電着砥石

電着砥石との比較

加工穴数 [個]新開発ツール 電着砥石
加工穴数

総加工長さ [mm]

総加工長さ

穴径 φ 4.04 [mm]
ツール径 φ 3.0 [mm]
板厚 5.67 [mm]
加工時間 [min / 個]

加工時間


サファイア

難削材加工システム
難削材加工システム
電着砥石
電着砥石

電着砥石との比較

加工穴数 [個]新開発ツール 電着砥石
加工穴数

総加工長さ [mm]

総加工長さ

穴径 φ 4.10 [mm]
ツール径 φ 3.0 [mm]
板厚 5.02 [mm]
加工時間 [min / 個]

加工時間


CFRP(炭素繊維強化プラスチック)

超音波加工ユニット
超音波加工ユニット

バリや剥離を抑制

ダイヤモンドコーティング超硬ドリル
ダイヤモンドコーティング超硬ドリル

バリや剥離が生じる

穴径 φ 2.36 [mm]
ツール径 φ 2.0 [mm]
板厚 1.06 [mm]
穴径 φ 2.0 [mm]
ツール径 φ 2.0 [mm]
板厚 1.06 [mm]
様々な形状の加工

セラミック

  • ジルコニアの段付き座ぐり
    ジルコニアの
    段付き座ぐり
  • 炭化ケイ素(SiC)の段付き座ぐり
    炭化ケイ素(SiC)の
    段付き座ぐり
  • 窒化ケイ素の段付き座ぐり
    窒化ケイ素の
    段付き座ぐり

サファイア

  • φ 0.6 微細穴
    φ 0.6 微細穴
  • 段付き座ぐり
    段付き座ぐり
  • キャップ形状
    キャップ形状

CFRP

  • 異径穴・長穴
    異径穴・長穴
    (1本のツールで加工)
  • 段付き座ぐり
    段付き座ぐり
  • 2000穴連続加工の2000穴目
    2000穴連続加工の2000穴目
    (加工後のツール先端摩耗量10µm以下)
化合物ウェーハのエッジ鏡面加工「IMETプロセス」
化合物ウェーハのエッジ鏡面加工「IMETプロセス」
・ 面取り工程にてエッジの鏡面化が可能
・ 粗さRa = 20 µmを実現(SiC)
・ 製造プロセス短縮、歩留まり向上によるコストダウン
・ レシピを各種材料に最適化
・ 粗研の研削スピード向上による高い生産性
・ 対象材料:各種化合物・サファイア・ガラス

受託加工専用
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