剥離洗浄機

ウェーハ剥離洗浄装置 C-RW-200 / 300 / 450

ウェーハ剥離洗浄装置
ワイヤーソーでスライス後のインゴット洗浄からウェーハ枚葉化、スクラブ洗浄を経てカセット収納まで行う、多機能型の洗浄装置です。


  • 200 mm, 300mm, 450mmの各専用洗浄機をラインナップ。要望に応じた専用設計が可能です。
  • 油性スラリー、水溶性スラリーに対応し、洗浄液は濾過装置でリサイクルしながら使用可能。ランニングコスト削減にご協力致します。
  • ワイヤーソー各社の接着プレートに合わせたローディング設計でワイヤーソー専用インゴットリフタを使用し、そのまま装置へ移載が可能です。
  • 高スループット
オプション

ウェーハへの印字、厚さ測定、外周部の接着残検出、ウェーハ反転、多種カセットへの収納など

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