光で角度測定

レーザを使うと鏡の移動量(変位)を精密に測定することが出来ます。
参考: 光で長さ測定

長さ以外にも角度を測定することが可能です。
角度測定には専用の干渉計と反射鏡を使用します。

角度測定干渉計

反射鏡

どうやって測る?

干渉計は2つのビームを出すことができます。反射鏡は2つのミラーから構成されています。角度測定干渉計は各ミラーまでの距離の差を測定することができます。


角度測定干渉計反射鏡

ミラーが少し傾いたとします。このとき図のビームAの距離は短くなり、反対にビームBの距離は長くなります。
干渉計が測定した長さの変化(δ)とビームの間隔から下図のような三角形が作れます。ビームの間隔は既に分かっているので、δから角度θを計算することが可能です

ページトップ

真直度をどうやって測る?

真直度は面の波打ち具合です。接触式の場合、面に直接測定器を当てて測定します。
測定器を動かします

面の上下を測定します

レーザの場合、脚を取り付けた反射鏡を使用して測定を行います。

波打った面に乗せると、反射鏡は傾きます。この傾きをレーザで測定します。


脚の間隔と角度から真直度を計算することができます。

この反射鏡を面に沿って移動させ、その傾きを測定していきます。
移動間隔と反射鏡の脚の間隔を同じにすることで、隙間なく面の真直度を測定することが可能です。

お問い合わせはこちら
資料ダウンロード

ページトップ

お問い合わせ

Copyright © 2014 TOSEI ENGINEERING CORP. ALL RIGHTS RESERVED.