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DISTAX 300A 工作機械校正・精度検査システム

DISTAX 300A


工作機械校正・精度検査システム

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光で長さを測る
光で角度測定

国産初のファイバ結合式レーザ測長器

DISTAXは産業技術総合研究所(当時:工業技術院)との共同開発により1989年に誕生した国産初の光ファイバ結合式レーザ干渉測長器です。ACCRETECHでは、以来15年以上にわたりレーザ干渉測長器の設計、製造、販売を行ってきました。DISTAX 300Aは培ってきた経験をもとに、ユーザにとってより使いやすく、より短時間で測定ができるシステムとして開発設計いたしました。

優れた使いやすさ

DISTAXはレーザ光源と干渉計を光ファイバで結合しています。従来のようにレーザの光路を気にすることなく測定したい場所へ自由に干渉計を取付けることが出来ます。測定軸が斜めであっても、機械内の空間が狭くても容易に測定可能です。
DISTAX300A
従来の三脚方式では旋盤などのスラント角(左図内赤矢印)のついた軸を測定する場合、右図のようにレーザを曲げる必要があります。
DISTAX300A
DISTAXでは干渉計ごと移動、設置が可能なので調整が非常に短時間で完了します。

作業工数の削減

測定準備にかける時間は誰しも短くしたいものです。DISTAXではセッティングの容易さに加え、工作機械精度検査の作業工数を削減するための専用ソフトウェアを用意しています。

DISTAX Manager

測定用プログラムの作成から測定結果解析、補正値の計算・入力、リモート運転までDISTAX Managerがサポートします。測定内容を入力するだけで、各種NCに対応した測定用Gコードプログラム(ISO230-2準拠)を自動作成します。測定後は、得られたデータに基づき各補正値(位置決め・バックラッシ)を計算し、NCコントローラへ自動入力します。RS-232CやEthernetを介したリモート運転も可能(※1)なため、ボタン一つで測定から補正後の検査まで自動測定が完了します。
測定結果は経済産業省へ提出する1988年度書式、2006年度書式に則った帳票として印刷することが可能です。規格に忠実な表・グラフの印刷が出来るので、そのまま提出資料としてご使用いただけます。

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多彩な測定

干渉計を取り替えていただくことで、角度(ヨー・ピッチ)、角度割出精度測定が可能です。

角度(ヨー・ピッチ)測定

ステージの移動に伴う姿勢変化(ヨーイング、ピッチング)を二つの反射鏡の光路長の変化から角度として測定することができます。(分解能 0.05 秒、精度 ± 0.2%)

角度割出精度測定

工作機械のB、C軸などのインデックステーブルの角度位置を短時間で測定するためのシステムです。システム取付け時の偏芯誤差をDISTAXが補正しますので、精密な調整なしにセッティングが完了します。ロータリーエンコーダ方式を採用しているため、従来方法で必要だった回転時の反転動作は行いません。加えて1000 rpmまでの高速回転にも対応できるため、従来比約 1/3の時間で測定が完了します。もちろんDISTAX Managerも対応しているため長さ測定と同様、測定から補正まで全自動で完了します。(精度 ± 1 秒)

挙動解析

工作機械に要求されるのは位置決め精度だけではありません。ステージや主軸の挙動解析も高精度な加工には欠かすことは出来ません。DISTAXでは動的な挙動解析に対応するためのオプションを用意しております。

ダイナミック解析

高速クロックボードを搭載することで最高1 MHzの高速サンプリングを実現します。ステージの加速度解析、加減速時の挙動解析まで測定することが出来ます。位置決め、ヨーピッチ測定がそのままの精度で測定できることに加え、長さ+ヨーイングやヨーイング+ピッチングといった2軸同時測定も可能です(※2)。下の動画で実際の動きを是非ご確認下さい。

※1:NCコントローラ側の対応が必要です。仕様参照
※2:2軸同時測定時の最高サンプリング速度は0.5 MHzです。

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仕様

●システム

型式 L-IM-300A
最大測定範囲 コーナーキューブ仕様:10 m、プレーンミラー仕様:5 m
光ファイバ長さ 3 m、5 m、10 mが標準
分解能 コーナーキューブ仕様:5 nm、プレーンミラー仕様:2.5 nm
最大応答速度 コーナーキューブ仕様:630 mm/s(特注 1000 mm/s)
プレーンミラー仕様:315 mm/s(特注 500 mm/s)
精度 ±(L×0.6×10-6+5×10-9) m
*L=測定長さ
軸数 最大2 軸

●DISTAX Managerソフトウエア(NC誤差測定/ISO規格測定/VDI規格測定)

測定数 最大3 軸順次測定
NC装置との接続 RS-232C
NC装置の種類 FANUC 16/18/21, 0i/15i/150i, 16i/18i/21i, 30i/31i/32i, 160i/180i/210i, 300i/310i/320iシリーズ
三菱電機 MELDAS 60/60S, 700シリーズ
SIEMENS SINUMERIK 840D sl
測定・出力内容 ISO規格230-2(1988, 2006)、VDI//DGQ3441規格 完全準拠
平均反転誤差を含む各種位置決め精度検査項目
各種グラフ出力、検査報告書体裁のレポート出力
補正 NC誤差測定として、ピッチ誤差、バックラッシュ誤差、(早送り)を自動補正
NCコントローラに必要な機能 プログラマブル・パラメータ入力(自動補正時に必要)
DNC運転モード(パソコンからNCをGコードで自動運転する際に必要
このモードが無い場合には、NCをメモリモードで運転、DISTAXカウンタからのデータにより自動測定は可能)

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