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DISTAX レーザー変位計

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あらゆる挙動解析をこの1台で

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特長

特長

 

距離によらない高分解能と高精度を実現

High Accuracy
高精度:±0.6 ppm
High Resolution
高分解能:5 nm

原理
 従来のレーザー変位計、振動計における分解能と
精度は互いにトレードオフの関係でした。
 DISTAXは干渉計を利用したフリンジカウント
(ホモダイン)方式で測長を行うため、高精度、
高分解能を距離によらず実現しています。
 近距離では集光ユニットを使用することで1mm
以内の微振動を測定可能、反射鏡を利用することで
最大5 mまでの変位測定が可能です。

 

矩形、パルス状の振動も正しく測定
特徴02
 従来のレーザー振動計では、振動数を直接測定して
いました。変位データは振動数を積分して求めていたため矩形信号やパルス状の振動変位は正しく測定することができませんでした。
 DISTAXでは変位を直接測定するため、矩形振動
などを正しく測定可能。最高1 MHzのサンプリング
速度で変位を測定します。

 

取付け、取りまわしが簡単です

 DISTAXではレーザー光源からの光をファイバーで伝送しています。測定に使用するヘッド部分には
駆動部が一切存在していませんので、振動を正確に測定することが可能です。ファイバー接続方式のため
狭い部分や恒温槽などの密閉空間内に持ち込むことも簡単です。

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仕様

シーン

 

最大測定範囲 5 m (振動測定時:100 mm固定)
光ファイバ長さ 5 m (10 m:オプション)
最大応答速度 1000 mm/s
精度 ±( L × 0.6 × 10-6 + 0.005 × 10-6 ) m , L = 測定長さ (m)
サンプリング周波数 1軸仕様:1 MHz ( 1 μs ) ~ 1 Hz ( 1 s )
サンプリング点数 各軸最大100万点
光源 波長安定化シングルモード He-Ne レーザー 波長:633 nm
光出力 約 0.3 mW (クラス2)


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