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インプロセス・ポストプロセス両用指示アンプ PULCOM V10A / V10S 用語集

インプロセス・ポストプロセス両用指示アンプ PULCOM V10A / V10S

用語解説

PULCOM V10A / V10Sに関連する用語について解説します。

温度補正

ワークとマスタの材質が同じで、マスタセット時のマスタ温度と加工/測定時のワーク温度が同じならば、熱膨張による寸法差の補正(温度補正)は不要です。材質が同じでもマスタ温度とワーク温度が違うと温度補正が必要です。またワークとマスタの材質が異なる時は、それぞれの温度が同じでも温度補正が必要となります。

温度補正

温度補正量THMは、ワークの温度=TEMP2(又は冷却液の温度)と室温=TEMP1(マスタの温度とみなす)を測定し、下記の式により求めます。

温度補正

TWC = (ワーク径) x (10℃当たりのワーク材質の膨張係数)
TMC = (マスタ径) x (10℃当たりのマスタ材質の膨張係数)
TM2 = (ワーク温度) – 20℃
TM1 = (マスタ温度) – 20℃

TWCとTMCは各測定項目毎にタッチパネルから入力します。通常マスタ温度用には、室温センサを使います。ワーク温度センサの設置条件などによって、理論上の膨張係数が不適切な場合には、テスト結果によって修正したTWC、又はTMCを入力し直して下さい。
TMC・TWC設定値は0~99.9µm / 10℃です。

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